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    光学系统

    光学系统

     • 光学系统包括显微镜、显微镜支架、CCD相机和11寸显示屏等组件,可以对待测器件观测并放大,在显示屏上呈现

     • 显微镜兼配同轴光源和环形光源,保证各种样品的清晰度

     • 显示器有录像,拍照,测量功能

     • 显微镜的放大倍数为10-180倍,最小可视分辨率可达3um以内,与市面上的先进探针台光学系统相当,测试方法采用1951分辨率测试靶

     

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