电子技术的发展日新月异，突飞猛进。每当研究人员想要测试纳米级精密微小的微电子器件，在高低温环境下的基本电学性能（如电流、电压、阻抗等）时，这台配有显微镜的高精度探针台——PSM-LN2液氨高低温探针台便能够脱颖而出，它可以对待测器件进行精密的测试和分析。在一些高低温环境中测试细小器件的场景，PSM-LN2高低温探针台更是可以轻松胜任，为研究人员提供良好的电测环境。
一、PSM-LN2系列液氮高低温探针台有哪些优势
这台高精度探针台全称为PSM-LN2系列液氮高低温探针台，它可以通过显微镜和CCD将待测器件放大，用高精度微探针对待测器件进行扎针，再外接电学测试仪表进行测试和分析。它还能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个80K-800K高低温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。同时它还能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试，帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能，从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持，在科学研究和技术开发中发挥着至关重要的作用。
二、PSM-LN2系列液氮高低温探针台有哪些特点
• 液氮高低温真空探针台，15分钟内腔体真空度可达到10E-4torr，液氮消耗量小，降到最低温度只需0.2L液氮，使用方便快捷同时兼顾经济性
• 探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试
• 独特的探针臂X-Y-Z-R四维调节，能满足最大4英寸样品的测试
• 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰提高测试的精确性和稳定性
• 探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于100fA@1V80K——800K
• 测试温度范围宽，最大支持80K—800K连续变温
• 上盖采用翻盖结构，换样更便捷
三、PSM-LN2系列液氮高低温探针台由哪些系统组成
1. 样品座
• 无氧铜样品座
• 表面有独特设计，防止样品滑动
• 最大可容纳4英寸样品
2. 探针
• 直流&射频探针
• 螺钉固定，更换方便
• 射频探针频率高达110GHz
3. 真空腔体
• 采用0圈密封，带2/4英寸可视范围石英窗口
• 真空度能够达到5E-4torr
• 真空上盖采用独特设计，支持快速换样
4. 温度控制系统
• 闭环PID温度控制
• 可调节加热器输出，最大加热功率100w
5. 光学系统
• 显微镜的放大倍数是10—180倍
• 工作距离90—100mm
• 分辨率3μm
• 兼配同轴光源和环形光源，保证各种样品的清晰度
• 显示器有录像、拍照、测量功能
6. 探针臂
• 标配四个直流探针臂
• 可以进行X-Y-Z-R四维移动
• 三同轴接头和低噪音同轴线
• R轴独特设计，能满足4英寸样品所有区域的扎针
7. 底座和支架
• 桌面式探针台，使用方便
• 可安装到光学平台
• 可安装到减振支架上
8. 减振支架
• 提供一个水平、减振的支架平台
• 可滚轮移动
• 尺寸和高度可定制
