PSM-PM系列永磁铁低温探针台是一款专门针对低温垂直磁场电测环境开发的探针台,给予0.5T垂直磁场,能够对最大2寸晶圆片进行重复性的、标准的电学实验,外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量、RF测量和霍尔测量。
• 永磁铁低温探针台,15分钟内腔体真空度可达到 10E-4torr,液氮消耗量小,降到最低温度只需0.2L液氮,使用方便快捷同时兼顾经济性;
• 独特的探针臂X-Y-Z-R四维调节,能满足最大2英寸样品的测试;
• 样品座可以放置最大2英寸的晶圆样品;
• 真空腔材质为铝制材料,能够有效减小外界的电磁干扰提高测试的精准度和稳定性;
• 探针臂采用三同轴接头,漏电性能好,实测漏电流小于100fA @1V @0K--800K;
• 永磁铁采用电动滑台控制,可以实现前进后退翻转运动;
• 永磁铁支架与探针台采用分体隔离支架,在磁体运动时避免振动传导到样品上;
• 测试温度范围宽,最大支持80K-800K陆续在变温。